±0.1精度主軸冷卻器（qì）在（zài）劃（huá）片（piàn）機晶圓加工（gōng）工藝中的應用

    隨著越來越多行（háng）業精密加工的（de）需求（qiú），特（tè）別是半導體晶元加（jiā）工方麵，不單單對環境恒溫恒濕及（jí）淨化等級方麵的環境要求，同時對加工機器主軸的精確恒溫冷卻更（gèng）是要（yào）求嚴格，隻有保證了機（jī）器的精確度才能保（bǎo）證加工出產品的精度。

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